精密行星齿轮减速机传动装置的分量，一般情况下正比于齿轮的分量，而齿轮的分量与其材料和热处理硬度有很大关系。例如在相同功率下，渗碳淬火齿轮的分量将是调质齿轮分量的1/3左右。所以针对行星齿轮减速机的结构特点和齿轮的载荷性质，应该广泛选用硬齿面齿轮。取得硬齿面齿轮的热处理方法很多，如外表淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，应根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。

　　1、外表淬火

　　常见的外表淬火方法有高频淬火（对小尺度齿轮）和火焰淬火（对大尺度齿轮）两种。外表淬火的淬硬层包含齿根底部时，其效果好。外表淬火常用材料为碳的质量分数约0.35%~0.5%的钢材，齿面硬度可达45~55HRC。

　　2、渗碳淬火

　　渗碳淬火齿轮具有相对大的承载能力，但须选用精加工工序（磨齿）来消除热处理变形，以保证精度。

　　渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58~62HRC的范围内。若低于57HRC时，齿面强度明显下降，高于62HRC时则脆性添加。轮齿心部硬度一般以310~330HBW为宜。渗碳淬火齿轮的硬度，从轮齿外表至深层应逐步下降，而有用渗碳深度规定为外表至深层应逐步下降，而有用渗碳深度规定为外表至硬度52.5HRC处的深度。

　　渗碳淬火在轮齿曲折疲劳强度方面的作用除使心部硬度有所提高外，还在于有外表的剩余压应力，它可使轮齿大拉应力区的应力减小。因此磨齿时不能磨齿根部分，滚齿时要用留磨量滚刀。

　　3、渗氮

　　选用渗氮可保证轮齿在变形小的条件下到达很高的齿面硬度性，热处理后可不再进行精加工，提高了承载能力。这关于不易磨齿的内齿轮来说，具有含义。

　　4、相啮合齿轮的硬度组合

　　当大、小齿轮均为软齿面时，小齿轮的齿面硬度应高于大齿轮。而当两轮均为硬齿面且硬度较高时，则取两轮硬度相同。

　　选择好的行星齿轮减速机材料，有利于提高齿轮减速机的承载力及使用寿命。